1、深耕半导体某一细分领域,近一年内实现新产品的研发及产业化;2、产品的技术创新性强,具有自主知识产权,产生一定效益,促进完善供应链自立自强。 MEMS技术,即微电子机械系统(Micro Electromechanical System),是一种将微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源等集成为一体的微型机电系统,具有微型化、智能化、多功能、高集成度、一致性高和适于大批量生产等特点。压电式MEMS麦克风利用新型压电材料将声波转换为电信号进行声音信号的采集和调理,具有更快的信号响应速度、更高的防尘和防水能力、更优秀的SNR可持续进化能力等优势。 1、技术或产品的主要性能和指标(30%);2、技术的创新性(40%);3、产品销量情况(30%)。

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